的容忍度，04微米。”
“工件台系统，你们是运动部件，误差源多，我给你们03微米。”
“掩膜版系统，01微米。”
“照明系统，01微米。”
“剩下的01微米，留给环境和其他不确定因素。”
林振的笔在黑板上飞快的移动着。
他不仅仅是简单地分配了一个数字。
在每个数字的后面，他又拉出了一个长长的分支，把这个系统的总误差，进一步分解到每一个具体的零件，每一个具体的工艺环节。
镜头的曲率、镜片的同轴度、导轨的直线度、电机的步进精度、温控的波动范围……
一个又一个具体的，可量化的技术指标，出现在黑板上。
原本那个笼统的，令人望而生畏的1微米，就这样，被他拆解成了一张由上百个子任务组成的，清晰无比的任务分配表。
看着黑板上堪称艺术品的任务分解图，所有人都看傻了。
他们终于明白，林振的信心从何而来。
他已经把通往山顶的每一步台阶，都清清楚楚的规划了出来。
他们要做的是沿着这条清晰的路径，一步一个脚印地，把这些台阶，一块一块的铺好。
“不可能”，就这样，变成了一张可以执行的任务表。
“怎么样？各位专家。”
林振放下粉笔，看着众人。
“现在，还有人觉得，这是不可能完成的任务吗？”
没有人回答。
回答他的，是所有人眼中，重新燃起的，熊熊的火焰。
“不过……”
在这时，光学所的老所长，却站了起来，他指着黑板上的一个分支，提出了一个非常现实的问题。
“林总师，您的分解方法非常高明。只是，按照这个指标，我们的投影物镜，在短期内，根本不可能实现。”
“我有一个不成熟的建议。我们是不是可以先退一步，采用一种更简单的曝光方式，来验证我们的材料和工艺？”
“比如，接触式曝光，把掩膜版，直接压在涂有光刻胶的硅片上，进行曝光。”
👉&128073; 当前浏览器转码失败：请退出“阅读模式”显示完整内容，返回“原网页”。